Nghiên cứu nâng cao đặc tính mosfet bằng cách thay đổi vật liệu lớp cách điện

Việc mở rộng quy mô của chất bán dẫn oxide metal bổ sung CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) đã dẫn đến lớp SiO2 (Silicon dioxide) được sử dụng làm điện môi cổng trở nên quá mỏng (~1.4 nm) làm cho dòng điện rò cổng quá lớn.